SK하이닉스가 일본의 수출 규제 강화 조치 이후 처음으로 기체 불화수소 수입 허가를 받은 것으로 확인됐다.
SK하이닉스 관계자는 2일 "지난달 30일자로 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다. 아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 밝혔다.
불화수소는 반도체 공정에서 회로에 패턴을 형성하는 식각(에칭) 공정에 주로 사용되는 소재로 앞선 8월 말 1건에 대해 수출 허가가 난 바 있다. 당시 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다.일본 정부는 지난 7월부터 반도체·디스플레이 제조공정에 사용하는 플루오린폴리이미드, 포토레지스트(감광액), 고순도 불화수소 등 3개 품목에 대해 서류 통과를 까다롭게 하는 방식으로 수출 규제를 하고 있다.
일본 정부는 기체 불화수소에 대한 수출은 허가하고 있지만 액체 불화수소(불산액)는 아직 한 건도 수출 허가를 내주지 않았다.
산업통상자원부는 지난 1일 '일본의 대한국 수출 규제 발표 3개월 경과 관련 입장문'에서 "반도체용 불산액의 경우 유엔 무기 금수 국가에 적용되는 9종의 서류 제출을 요구하고 있는데, 여러 차례 서류 보완을 이유로 신청 후 90일이 다 되도록 아직 한 건의 허가도 발급되지 않고 있다"고 말했다.
국내 기업들은 지난달부터 고순도 불화수소의 국산화에 성공해 일부 과정에 투입하고 있다. 일본산 재고를 최대한 아껴쓰면서 관리하는 한편 국산화 테스트를 진행, 일부 생산 라인에 도입하고 있다.
노정동 한경닷컴 기자 dong2@hankyung.com
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