中 반도체 굴기에 암운…네덜란드 ASML, 핵심장비 공급 중단

세계 최대 반도체 장비업체인 네덜란드 ASML이 반도체의 성능을 비약적으로 높여주는 최첨단 장비를 중국에 납품하지 않기로 결정한 것으로 알려졌다. 중국이 5세대(5G) 이동통신 전략과 ‘반도체 굴기’를 추진하는 데 차질을 빚을 수 있다는 관측이 나온다.

ASML은 중국 국유기업이자 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 업체인 SMIC에 올해 말까지 ‘극자외선(EUV) 노광기’를 공급하기로 했다가 이를 보류했다고 니혼게이자이신문이 7일 보도했다. 한 관계자는 “ASML은 중국에 최첨단 장비를 공급해 미국을 자극하는 사태를 피하기 위해 납품을 일단 보류했다”고 전했다.

EUV 노광기는 반도체 제작의 핵심인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용해 초미세 가공을 가능하게 하는 장비다. 반도체 성능 향상은 회로 선폭을 얼마나 미세하게 만드느냐가 관건인데 여기에 이 장비가 필수적으로 사용된다. ASML이 독자 개발해 독점 생산하고 있어 다른 장비로 대체하는 게 불가능하다. 세계 파운드리 시장 점유율 1, 2위인 대만의 TSMC와 삼성전자도 올해부터 첨단제품 양산에 이 장비를 도입했다.

SMIC는 삼성전자나 TSMC에 비해 파운드리 기술력이 많이 뒤쳐져 있어 당장 EUV 노광기가 필요한 상황은 아니다. 하지만 중국 정부의 지원을 등에 업고 TSMC 등을 추격하려던 계획엔 타격을 입을 수밖에 없다는 분석이다. 5G 서비스가 본격화하면 스마트폰 등의 데이터 처리량이 폭발적으로 증가하게 되는 만큼 반도체 성능 향상의 중요성은 더 커지게 된다.

ASML의 납품 보류는 첨단기술 패권을 둘러싼 미·중 마찰이 격화하고 있는 상황을 의식한 것으로 풀이된다. ASML은 반도체 장비 부품의 약 20%를 미국 코네티컷주에 있는 공장에서 생산하고 있다. 마이크론테크놀로지 등 미국 반도체 기업도 주요 고객이다. 지난해 매출에서 미국이 차지한 비중은 16%였다.

하지만 ASML 입장에선 미국보다 중국 매출 비중이 더 높아 납품이 완전히 철회되기는 어렵다는 전망도 나온다. 한국이 35%로 가장 높고 중국이 20%로 그 다음이다. 업계에선 ASML이 미·중 무역갈등 추이를 지켜보며 추후 납품 재개 여부를 결정할 것으로 보고 있다.

베이징=강동균 특파원 kdg@hankyung.com