생산기술연구원, 반도체 제조용 금속 '몰리브덴' 정련 기술 개발

한국생산기술연구원이 반도체, 디스플레이 등의 제조 공정에 쓰이는 희귀금속인 몰리브덴을 99.995% 초고순도로 정련하는 원천기술을 개발했다고 24일 발표했다.

내식, 내열, 전도성이 좋은 몰리브덴은 매장량이 적고 매장 지역도 넓지 않아 수급이 원활하지 못한 희귀금속이다. 초고순도 몰리브덴은 매년 7000억원 규모를 전량 수입하고 있으며 이 가운데 70%가량을 일본에 의존하고 있다.

생산기술연은 2019년 6월 우즈베키스탄과 몰리브덴 원료 공급계약을 맺고 중간 순도의 몰리브덴을 들여와 초고순도로 정련하는 기술을 개발해왔다. 국내 금속 소재 전문업체 엔에이티엠이 협력했다.

양측 연구진은 희귀금속 정련 과정에서 강산, 강염기 등 촉매가 필요 없는 초고온 전자빔 기술을 활용했다. 진공 체임버 안에서 6000도 전자빔을 쏘면 몰리브덴의 녹는 점(2600도)보다 기화점이 낮은 불순물은 기체가 돼 날아간다.

이해성 기자 ihs@hankyung.com