반도체 장비 전문기업 예스티는 미세 반도체 공정의 핵심 설비인 고압 어닐링 장비 알파 테스트를 성공적으로 마치고 다음 개발 단계로 진입한다고 27일 밝혔다.
예스티는 지난해부터 상용화를 전제로 고압 어닐링 알파 장비에 대한 알파 테스트를 진행해왔다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 테스트를 진행한 결과 고객이 요구하는 수준의 성능은 물론 자체 개발 목표를 상회하는 성과를 얻는 데 성공했다.
예스티는 알파 테스트 결과를 기반으로 다음 개발 절차 준비에 착수했다. 올해 중으로 신뢰성 향상과 관련한 테스트를 마무리하고 본격적인 수주를 받는 것이 목표다.
어닐링은 고압 수소·중수소를 통해 반도체 표면의 결함을 제거하는 핵심 공정으로 반도체의 신뢰성을 높이는 한편 집적회로 성능을 향상시키는 역할을 한다. 예스티는 자체 반도체 열처리 및 수소 제어 기술을 기반으로 21년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다.
기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 높은 온도가 요구되고 고온으로 인한 수소 침투율에 한계가 있어 계면 결함 개선 효과가 저하된다는 한계가 존재했다. 예스티가 개발한 고압 어닐링 장비는 최대 30기압의 고압으로 반도체 웨이퍼 표면에 중수소 침투율을 향상시켜 어닐링 효과를 극대화할 수 있다.
지난해 예스티는 고압 어닐링 장비의 핵심 설비인 압력 챔버를 개선한 중수소 리액터 장치와 관련된 기술 특허를 출원한 바 있다. 가격 경쟁력 향상은 물론 리드타임을 대폭 단축할 수 있는 다양한 핵심 기술들을 내재화했기 때문에 국내 글로벌 반도체 회사들로부터 긍정적인 평가를 받고 있다는 것이 회사 측 설명이다.
예스티 관계자는 "예스티의 고압 어닐링 장비는 기존 장비보다 공정 압력이 20% 향상된 최대 30기압까지 처리 가능하며 자체 개발한 압력 챔버를 적용해 성능 및 비용 측면에서 모두 우위에 있다"며 "이러한 장점을 기반으로 국내외 글로벌 반도체 기업들을 고객사로 확보해 나갈 계획"이라고 말했다.
차은지 한경닷컴 기자 chachacha@hankyung.com
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