기초硏, 초정밀 열영상 현미경 개발

한국기초과학지원연구원은 시료의 열 영상 이미지를 3㎛(마이크로미터·100만분의 1ｍ)까지 구분해낼 수 있는 초정밀 열영상 현미경을 개발했다고 29일 밝혔다.

김건희 박사팀이 개발한 초정밀 열영상 현미경은 시료의 열 특성을 이용해 분석하는 새로운 개념의 분석장비로, 적외선 열화상 장치와 현미경을 결합시킨 형태이다.

시료의 온도 차이를 이용해 3㎛의 공간 분해능(두개의 점이나 선을 분별하는 능력)을 가지며 온도 분해능은 5mK(밀리캘빈·1천분의 1캘빈온도(절대온도))에 달한다.

현재 열영상 현미경 기술은 분석장비 보다는 반도체 소자의 결함을 판단하는 장비로 쓰이고 있으며, 선진국에서 개발한 기존 장비는 공간 분해능은 5~7㎛, 온도 분해능은 20~100mK에 불과한 수준이다.

김 박사팀이 개발한 장비는 수㎛의 공간 분석, 수mK까지의 온도 분석이 가능해반도체, 태양전지 등에 대한 부품검사 뿐만 아니라 나노·바이오·의료 분야에서도활용이 가능하다.

장비가 상용화되면 시료의 열 분포나 나노입자에 대한 분석을 통해 질병을 진단하는 생체시료 분석연구에 쓰일 수 있을 것으로 기대된다.

이번 기술은 이날부터 내달 1일까지 서울 코엑스에서 열리는 񟭍 국제연구개발장비전'에 소개된다.

jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>