"나노구조물 떠 있는 형태로 제작 성공"<기계硏>

한국기계연구원은 나노공정연구실 최대근 박사팀이 나노구조물을 바닥에 떠 있는 '자유지지' 형태로 제작하는 데 성공했다고 26일밝혔다.

자유지지 형태는 구조물이 바닥으로부터 떨어져 공중에 떠 있는 형태로, 현재자유지지 박막 제조에 대한 국내외 연구는 초기 단계 수준이다.

최 박사팀은 우선 지지대 역할을 할 수 있는 기둥을 만든 뒤 지지대 기둥에 나노구조물을 위에서 붙이는 방식의 전사공정을 이용해 100나노미터(㎚,10억분의 1ｍ)이하의 박막 구조물을 떠 있도록 만드는데 성공했다.

나노 물질을 전사하는 기술은 디스플레이, 나노발전기, 유기 트랜지스터 및 센서 등 다양한 분야에 적용돼 왔으나 소재들이 평면 위 기판과 접촉하고 있어 기판과측정대상 물질 사이의 상호 교란을 차단하기 어렵다는 단점이 있었다.

나노구조물을 자유지지 형태로 제작하는 기술이 상용화되면, 기판과 교란을 일으키지 않고 나노 박막 신소재의 전기적·기계적 물성을 정확하게 측정할 수 있을것으로 기대된다.

또 자유지지의 구조적 특징 덕분에 미세한 진동이 가능해 나노 크기의 공진기(특정 주파수에서 진동하는 장치)나 응력·변형 센서(물질에 가해지는 힘이나 변형을측정하는 센서) 등에 활용할 수 있다.

이번에 개발된 기술은 기존 자유지지 제작 기술보다 비용도 저렴하고 시간이 적게 들며, 대량생산이 가능하다고 연구팀은 전했다.

이번 연구결과는 응용 재료 및 계면 분야 권위 있는 저널인 '에이시에스 어플라이드 머티리얼&인터페이스'(ACS Applied Materials & Interfaces)에 실렸다.

jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>