[공시]에스엔유, 원자층 증착장치 특허 취득

에스엔유는 원자층 증착장치에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했습니다.

에스엔유 측은 "본 특허는 기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것"이라고 밝혔습니다.