일본 정부가 지난달 한국에 대한 3개 핵심소재 수출규제를 발표한 이후 처음으로 일본산 포토레지스트가 어제(21일) 국내로 반입됐다.
업계 관계자는 "일본산 포토레지스트가 항공편으로 국내에 반입됐다"면서 "밤새 통관 절차를 마쳤다"고 밝혔다. 이번에 통관된 물량은 약 3개월치로, 삼성전자의 주문을 받은 한 일본 업체의 수출 신청을 일본 정부가 처음으로 허가 결정을 내린 것이다. 3개 핵심소재 중 하나가 국내로 반입된 것은 일본 정부가 지난달 4일 수출규제 강화 조치를 공식 발효한 지 49일 만이다.
포토레지스트는 삼성전자 화성 반도체공장의 극자외선 생산라인으로 옮겨질 것으로 보인다. 특히 일본 정부가 최근 포토레지스트 수출을 두번째로 허가한 것으로 확인되면서 삼성전자는 최대 9개월치를 확보, 당분간 EUV 라인 가동에는 문제가 없을 것이라는 관측이 나오고 있다.
앞서 미국 블룸버그는 "JSR이 일본 당국으로부터 삼성전자에 대해 포토레지스트 수출을 허가받았으며, 5∼6개월치 물량이라고 보도했다. 하지만 일본정부는 아직까지 고순도 불화수소(HF)와 플루오린 폴리이미드(FPI)는 단 한건도 수출 허가를 하지 않고 있는 것으로 알려졌다
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