네덜란드 반도체 제조장비 회사 ASML이 경기도 화성에 반도체 장비 재(再)제조·트레이닝 센터를 짓는다.
산업통상자원부는 16일 오전 경기도 화성에서 ASML 화성 `New Campus` 기공식이 개최된다고 15일 밝혔다.
행사에는 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)가 직접 참석한다. 문동민 산업통상자원부 무역투자실장이 참석해 ASML의 노광장비 재제조·트레이닝 센터 착공을 축하할 예정이다.
ASML은 노광장비를 생산하는 반도체 장비 기업이다. 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업으로 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점하고 있다.
ASML은 이번 화성 캠퍼스에 2025년까지 총 2,400억 원을 투자해 심자외선(DUV)과 극자외선(EUV) 노광장비와 관련 재제조센터와 첨단기술을 전수를 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립할 계획이다. 재제조센터에서는 기존 ASML 장비를 구입한 삼성전자와 SK하이닉스가 장비 해외 이송 절차없이 국내 부품으로 수리를 지원받을 수 있다는 점에서 이점이 있다.
산업부는 해당 시설의 한국 유치를 위해 ASML, 경기도, 화성시 등과 긴밀히 협력해왔다고 강조했다. 지난해에는 관계기관간 `ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약`을 체결한 바 있다.
이번 ASML 투자로 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업(AMAT·ASML·램리서치·TEL)이 모두 국내에 R&D센터를 짓는 등 투자를 확대하게 됐다.
정부는 최근 차세대 EUV 노광장비의 효율을 높이기 위해 신소재 재질 배관에 대한 가스상세기준을 개정해 도입하는 당 규제 개선을 발표했다. 이와 더불어 네덜란드 본사 방문을 통해 추가적인 투자유치 협의를 이어가는 중이다.
문 실장은 축사를 이번 트레이닝센터 건립으로 두 나라간 첨단산업 생태계 협력이 강화될 것이라고 강조했다.
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