테스, 박막증착장치 관련 국내 특허권 취득
(서울=연합뉴스) 임은진 기자 = 코스닥 상장사 테스[095610]는 가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장치와 관련한 국내 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사 측은 "반도체 장비에 적용되는 기술"이라며 "혼합가스의 집중현상을 방지하고 기판을 향해 고루 분사해 균일한 증착막을 형성하는 데 기여한다"고 설명했다.
engine@yna.co.kr
(끝)
<저작권자(c) 연합뉴스, 무단 전재-재배포 금지>
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회사 측은 "반도체 장비에 적용되는 기술"이라며 "혼합가스의 집중현상을 방지하고 기판을 향해 고루 분사해 균일한 증착막을 형성하는 데 기여한다"고 설명했다.
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