기판이나 시간 낭비 없이 반도체 박막 소재 검사한다

기판이나 시간 낭비 없이 반도체 박막 소재 검사한다
표준과학연구원 '반도체·OLED 증착용 소재 물성측정 기술' 개발



(대전=연합뉴스) 이재림 기자 = 한국표준과학연구원(KRISS)은 윤주영 소재에너지융합측정센터 책임연구원 연구진이 반도체나 OLED(유기발광다이오드) 공정에서 증착 없이 박막 소재만 단독으로 평가하는 기술을 개발했다고 31일 밝혔다.
가열해 만든 금속 증기를 물체 표면에 얇게 입히는 증착은 반도체나 OLED를 만들 때 필요한 공정이다.
증착에서 가장 중요한 조건은 진공상태 유지다.
박막 소재로 쓰이는 유기물질은 진공환경에서만 온전하게 증착할 수 있다. 공기 중에 노출되면 분해가 일어나며 폭발까지 일으킬 수 있다.
현재는 소재를 기판에 입힌 다음 특성을 보는 '선 증착 후 검사' 방법이 주로 이용된다.
진공환경을 유지하며 기화 전 고체·액체 소재 물리적 특성을 다루는 기술이 거의 없어서다.
연구진은 진공 고온 환경에서 장기간 유기물질을 측정할 수 있는 독자적인 시스템을 만들었다.
아울러 물질이 내부 파이프에 달라붙어 측정을 방해하는 탈 기체 문제를 해결하면서 '선 검사 후 증착' 방법을 처음으로 제시했다.


이번에 개발한 물성측정기술을 이용하면 진공환경에서 소재물질의 증기압, 상태 변화 지점, 열·화학적 안정성, 증기 조성비 같은 다양한 물성을 정확히 파악할 수 있다고 KRISS는 설명했다.
기판, 인력, 시간 등 낭비 없이 소재 먼저 단독으로 측정하는 길을 연 셈이다.
윤주영 KRISS 책임연구원은 "이 원천기술에는 국내 60개 이상 업체에 기술지원을 하며 축적한 경험이 담겼다"며 "제품 신뢰성과 생산성을 높여, 수입의존도가 높은 반도체·OLED 박막용 소재 국산화에도 기여할 수 있을 것"이라고 말했다.
KRISS는 지난해 말 반도체 장비부품 전문기업 마에스텍과 기술이전 계약도 했다.
마에스텍 측은 해당 기술을 올해 상반기 중 상용화할 계획이다.
walden@yna.co.kr
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