램테크놀러지 "초고순도 불화수소 특허는 사실…자료 배포는 안해"

입력 2021-11-23 22:45  

램테크놀러지 "초고순도 불화수소 특허는 사실…자료 배포는 안해"

(서울=연합뉴스) 김영신 기자 = 반도체 소재 기업 램테크놀러지[171010]는 초고순도 불화수소 정제 관련 국내 특허를 등록한 것은 사실이지만 관련 보도자료를 배포한 바는 없다고 23일 공시했다.
램테크놀러지는 이날 금융감독원 전자공시시스템을 통한 해명 공시에서 전날 자사가 '액체와 기체 형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산하는 기술을 개발했다'는 보도가 나간 데 대해 "보도자료를 배포한 바 없음을 알려드린다"고 밝혔다.
램테크놀러지는 "초고순도 불화수소의 정제 방법 및 장치에 대한 국내 특허를 등록한 것은 사실"이라고 전했다.
그러나 관련 보도자료는 배포하지는 않았다고 덧붙였다.
램테크놀러지는 다만 "단일 금속 불순물의 농도를 '일조분의 1'이하 수준으로 제거하는 것이 맞다"며 "당진 신규 공장은 증설을 계획 중인 가운데 인허가 관련 행정 심판이 진행 중이고, 용인2공장 증설은 진행되는 사항이 없다"고 설명했다.
shiny@yna.co.kr
(끝)


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