참엔지니어링, 기판 처리장치 특허 취득

참엔지니어링은 31일 기판 처리 장치 관련 국내 특허를 취득했다고 31일 공시했다.

회사 측은 "플라즈마를 이용한 기판처리 공정에 있어 이온 에너지 및 플라즈마 밀도가 높은 공진 플라즈마를 이용, 종래에 비해 기판처리 공정 속도를 향상시키며 기판으로 입사 또는 충돌하는 이온 에너지를 조절해 기판 또는 박막에 대한 손상을 줄일 수 있는 특허"라고 설명했다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com




▶ 싸이 '13억 저택' 미국에 숨겨뒀다 들통나

▶ 女아나운서 '신혼 아파트' 월세가 무려…

▶ '쿨' 김성수 "잘나갈 때 번 돈 모두" 눈물 고백

▶ 소유진 남편, 연대 나왔는데 17억 빚 떠안고…

▶ 박신양이 자랑한 '7천만원대' 신혼집 보니



[한국경제 구독신청] [온라인 기사구매] [한국경제 모바일 서비스]
ⓒ <성공을 부르는 습관> 한경닷컴, 무단 전재 및 재배포 금지
<한국온라인신문협회의 디지털뉴스이용규칙에 따른 저작권을 행사합니다>