로보스타는 복수 챔버 웨이퍼 공급 및 회수장치 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 "이송로봇의 동선을 짧게 해 웨이퍼를 세정하기 위한 공정시간을 단축시키는 발명"이라며 "복수 챔버에 웨이퍼를 공급하고 회수해 공정 시간을 단축할 것"이라고 설명했다.
한경닷컴 강지연 기자 alice@hankyung.com
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한경닷컴 강지연 기자 alice@hankyung.com
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