[ 김다운 기자 ] 테스는 26일 박막 증착장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
이는 기판의 손상을 방지하면서 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있도록 하는 특허로 장비 제조시 제품경쟁력이 강화될 것이라는 전망이다.
한경닷컴 김다운 기자 kdw@hankyung.com
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