이 사업은 국가성장전략에 기반한 반도체공정장비 분야의 핵심 원천기술개발 사업에 대한 지원을 통해 차세대핵심 공정에 적용될 장비를 개발 및 상용화 하는 사업이다.
한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com
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