22일 삼성에 따르면 삼성전자 시안 공장은 전날 오후 6시30분께 100% 재가동에 들어갔다. 이 공장은 지난 18일 오전 0시30분 시안 남쪽에 있는 궈뎬(國電)산시공사의 330킬로볼트(KV)급 변전소에서 발생한 대형 폭발사고로 공장 대부분의 가동이 중단된 지 약 90시간 만이다.
당시 공장에 공급되는 전압이 일시적으로 내려가자 삼성측은 민감한 반도체 생산시설 보호를 위해 가동을 멈췄다. 이후 복구에 전력을 기울였다. 생산 라인에 투입된 300㎜ 웨이퍼(반도체의 재료가 되는 실리콘 기판)의 손상 여부를 파악하고 설비의 이상 여부를 점검했다. 당초 웨이퍼 기준 최대 1만장까지 피해 가능성이 제기됐으나, 실제 손상된 웨이퍼는 2000~3000장 내외로 알려졌다. 시안 공장의 생산규모는 웨이퍼 기준 월 10만~12만장 수준이다.
삼성전자 관계자는 “예상보다 피해가 많지 않고 현재 정상가동에 들어갔다”고 말했다. 3차원(3D) 낸드를 생산하는 시안 공장이 가동을 멈추자, 일부 증권사와 외신은 생산량 감소로 낸드 가격이 오를 가능성이 있다고 분석하기도 했다.
김현석 기자 realist@hankyung.com
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