"어디에 먼저 공급할까?"…반도체 장비업체 '기분 좋은 고민'

글로벌 3D 낸드 공장증설 경쟁
한국 장비업체 러브콜 잇따라
원익IPS·테스 등 실적 개선


[ 남윤선 기자 ] 3차원(3D) 낸드플래시발(發) 메모리 시장 호황이 시작되면서 반도체 장비업체의 실적도 가파르게 개선되고 있다. 투자가 몰리다 보니 일부 반도체업체는 어디에 공급할지를 오히려 고르고 있는 정도다.

국내에선 삼성전자(경기 평택시)와 SK하이닉스(경기 이천시)가 대규모 3D 낸드 공장을 짓고 있다. 인텔 역시 중국 다롄에 3D 낸드 공장을 지으며 한국 장비업체들을 찾고 있다. 미국 마이크론, 중국 XMC 등도 대규모 3D 낸드 투자를 예고했다. 투자 규모를 모두 합치면 50조원에 육박한다.

반도체 장비업계도 유례 없는 호황을 맞고 있다. 단순히 투자가 늘어나기 때문만은 아니다. 3D 낸드를 만드는 공정은 평면 낸드보다 복잡하다. 같은 양의 웨이퍼(반도체의 원재료인 실리콘 기판)를 생산해도 더 많은 장비가 필요하다. 플라즈마화학증착장비(PECVD)를 생산하는 원익IPS와 테스는 업계 전문가들이 꼽는 3D 낸드 시대 최대 수혜주 중 하나다. 이정 유진투자증권 반도체·디스플레이팀장은 “국내 3D 낸드 공장은 물론 중국 반도체, 유기발광다이오드(OLED) 공장에서도 러브콜을 받고 있는 업체들”이라고 말했다.

반도체 전(前)공정의 필수장비인 감광액 제거기(asher) 분야 세계 1위 피에스케이도 마찬가지다. 삼성전자와 SK하이닉스는 물론 인텔, 마이크론 등 신규 투자를 하는 대부분 반도체업체에 장비를 납품하고 있는 것으로 알려졌다.

한 업체 관계자는 “반도체는 물론 OLED 투자까지 몰리다 보니 노광기업체들이 ‘갑’이 돼 있다”며 “일부 업체는 장비 납기가 늦어져 투자가 지연될까 걱정하는 상황”이라고 설명했다.

남윤선 기자 inklings@hankyung.com



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