위지트, 서셉터 표면 처리방법 관련 특허 취득

위지트는 서셉터 표면 처리방법 관련 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

위지트는 "이번 특허는 액정표시장치(LCD) 화학기상증착장비(CVD) 챔버 내부에 설치되는 서셉터에 관한 기술"이라며 "특허 기술이 적용된 제품은 표면 조도가 높게 형성되고 서셉터와 기판의 접촉 면적 및 정전력을 줄여 제조 시 기판과 서셉터의 분리를 용이하게 할 수 있다"고 설명했다.

오정민 한경닷컴 기자 blooming@hankyung.com



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