[이달의 산업기술상] 김남헌 에이피티씨 대표, 반도체 초정밀 가공장비 개발… 해외시장 공략

사업화기술 부문 - 4월 장관상



[ 성수영 기자 ] 김남헌 에이피티씨 대표(사진)는 반도체 가공 장비인 초정밀 건식 식각장비를 국내에서 처음으로 개발·사업화하는 데 성공했다.

식각장비는 반도체의 불필요한 부분을 플라즈마 기체로 깎아내 회로를 만드는 장치다. 기존 식각장비 시장은 해외 업체가 독과점했다. 에이피티씨가 경쟁사 제품과 성능이 비슷하고 가격 경쟁력이 뛰어난 초정밀 식각장비를 선보이면서 국내 반도체 회사들의 국산화율이 높아졌다.

에이피티씨는 이 장비를 SK하이닉스 공장에 납품해 매년 400억원 이상의 매출을 기록하고 있다. SK하이닉스 역시 이 회사를 기술혁신기업으로 선정해 연구개발 및 기술 지원을 제공하고 있다.

에이피티씨는 건식 식각장비를 연구하면서 국내특허 49건, 해외특허 25건 등 74건의 특허를 취득했다. 이런 원천기술을 바탕으로 적극적인 해외 진출을 준비하고 있다. 우선 SK하이닉스의 중국 우시공장에 납품하기 위한 장비 검증 및 통관 절차를 진행 중이다. 이 과정이 성공적으로 완료되면 중국 대만 등 외국 반도체 제조사에 대량 납품할 길이 열릴 것이란 기대다.

김 대표는 서울대 금속공학과를 졸업한 뒤 KAIST와 미국 스탠퍼드대에서 재료공학 석·박사 학위를 받았다. 한국전자통신연구원(ETRI) 연구원 등을 거쳐 2002년 에이피티씨를 설립했다.

성수영 기자 syoung@hankyung.com




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