대기업 부문 수상자인 김 기장은 반도체 제작 공정 중 웨이퍼에 실리콘 막을 밀착시키는 디퓨전 과정에 ‘메스’를 댔다. 그가 개발한 2LDS 시스템은 액체를 기화시킨 가스를 체임버에 직접 공급한다. 소자 전하 저장 공간의 성능이 저하되는 등의 문제 발생 가능성을 사전에 차단하는 효과가 있다. 김 기장은 2LDS 설비를 개발, 264억원의 비용을 절감한 것으로 알려졌다.
중소기업 부문 수상자인 김 대표는 ‘제4의 물질상태’로 불리는 플라즈마를 활용해 피부성형, 피부치료용 메디컬 의료기기를 개발했다. 그가 상용화한 피부숍용 플라즈마 장비와 개인용 홈케어 피부미용 기기는 해외 40여 개국에 수출됐다.
김 대표는 “혁신적이고 창의적인 기술 개발로 시장 선도형 신제품 개발에 매진하겠다”고 말했다.
윤희은 기자 soul@hankyung.com
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