RFHIC는 자사 주력 부품인 질화갈륨(GaN) 트랜지스터와 전력증폭기를 적용시킨 '반도체형 마이크로웨이브 제너레이터'를 RF 에너지 분야에 활용해 RF 에너지사업 관련 포트폴리오를 확장해 나가겠다는 계획이다.
RFHIC가 반도체형 마이크로웨이브 제너레이터를 적용시키는 사업 분야는 플라즈마, 가열, 가속기 등 3가지로 구분된다. 이 중 플라즈마 사업은 다양하게 응용이 가능한 만큼 수소 생산 설비, 폐기물 처리 장비, CVD(Chemical Vapor Deposition)와 반도체 공정 장비 등에 적용될 예정이다.
수소생성용 마이크로웨이브 제너레이터는 이산화탄소 발생없이 수소를 생성하는 플라즈마 메탄 열분해 방식의 수소 생산 설비에 적용이 가능해, 기존의 수소 생산 방식과 달리 저비용으로 그린수소를 생산할 수 있다는 특징이 있다. 또 폐기물 처리용 마이크로웨이브 제너레이터는 기존 마그네트론 제품 대비 더 높은 플라즈마 온도를 일정하게 유지할 수 있고 국내 바이오매스 발전사업에 자사 제품이 적용돼 올해부터 매출이 발생하고 있다는 설명이다. CVD는 플라즈마와 여러가지 가스를 결합해 새로운 물성을 증착하는 장비다.
가열사업 분야에서는 주파수 등을 조정해 원하는 위치에 선택적으로 열이 전달될 수 있게 하는 가열용 마이크로웨이브 제너레이터를 개발했다. 식품가공, 제약, 신소재 사업에 적용할 수 있다. 특히 식품가공 분야에서 대량의 식재료를 해동, 조리, 건조할 수 있는 만큼 국내 식품 대기업과 협업을 진행하고 있다고 사측은 설명했다.
가속기 사업분야의 마이크로웨이브 제너레이터는 암 치료 등 의료·산업분야에 적용이 가능하다. 특히 의료분야의 경우 입자를 가속시켜 개복하지 않고 몸 속 암세포만 제거하는 치료 장비에 활용할 수 있다. 현재 글로벌 의료기기 업체의 일부 제품에 적용된 상태다.
RFHIC 관계자는 "질화갈륨 트랜지스터가 적용된 반도체형 마이크로웨이브 제너레이터에 디지털 제어방식을 사용함으로써 다양한 주파수 대역과 출력을 커버할 수 있는 제품을 구축했다"며 "현재 국내외 기업들과 기술 적용 등을 논의하고 있는 만큼 내년에는 본격적인 매출 발생을 기대하고 있다"고 말했다.
신민경 한경닷컴 기자 radio@hankyung.com
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