로이터에 따르면 네덜란드 정부는 ASML이 생산하는 심자외선(DUV) 노광장비에 대한 중국 수출을 더 까다롭게 하는 새로운 규정을 만들어 오는 9월부터 적용할 예정이다.
ASML은 네덜란드가 자랑하는 세계적인 반도체 노광장비 제조업체다. 네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출을 금지해왔다. 이번에는 그동안 수출을 허용한 DUV 노광장비에 대해 신·구형을 막론하고 중국 수출을 금지할 것으로 알려졌다.
이는 미국의 대중국 반도체 장비 수출제한 조치가 강화되는 데 따른 것이다. 미국은 작년 10월 중국의 반도체 생산 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 사실상 금지했다. 인공지능(AI) 및 슈퍼컴퓨터에 사용되는 첨단 반도체 수출도 제한했다.
여기에 더해 미국산 부품 비중이 과거 기준보다 더 낮더라도 수출승인 심사를 받도록 심사를 강화할 예정이다. ASML의 노광장비에도 미국산 부품이 들어가 있기 때문에 새로운 규정이 시행되면 DUV 노광장비 가운데 하위 제품도 영향을 받는 구조다.
또 미국은 중국 최대 반도체 파운드리(위탁생산)업체인 SMIC의 반도체 공장을 수출 규제 기업 목록에 등재할 계획이다. SMIC로 반도체 장비가 반입되지 않도록 하겠다는 의미다.
일본의 니콘과 도쿄 일렉트론도 이달 23일부터 23종의 반도체 제조설비에 대한 수출 제한에 들어갈 예정이라고 로이터는 전했다. 미국은 그동안 일본과 한국 등 동맹국에도 대중국 수출 통제에 동참할 것을 요구해왔다.
이지훈 기자 lizi@hankyung.com
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