삼성전자와 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML이 1조원을 들여 국내에 연구개발(R&D)센터를 짓기로 했다. 반도체 제조 분야 글로벌 선두 주자인 삼성전자와 장비 분야에서 독보적 지위를 차지하고 있는 ASML이 미래 반도체 시장을 주도하기 위해 힘을 합쳤다는 평가가 나온다. SK하이닉스는 ASML과 극자외선(EUV) 노광장비에 사용할 수소가스를 재활용하는 기술을 공동 개발하기로 했다. 양해각서(MOU) 체결은 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문을 계기로 이뤄졌다.
삼성전자와 ASML은 내년부터 총 1조원을 투입해 차세대 반도체 제조 기술을 연구하는 센터를 설립하고 공동으로 운영하는 내용의 MOU를 12일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 맺었다. 윤 대통령은 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장 등과 함께 ASML 본사를 찾았다. 빌럼 알렉산더르 네덜란드 국왕도 동행했다.
박춘섭 대통령실 경제수석은 “ASML과 삼성전자가 공동 설립하는 R&D센터는 차세대 EUV를 기반으로 초미세 제조 공정을 공동 개발할 것”이라며 “한국 정부는 설치부터 운영까지 전폭적으로 지원할 계획”이라고 발표했다. ASML이 반도체 제조 기업과 해외에 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.
SK하이닉스와 ASML이 공동으로 개발하기로 한 수소가스 재활용 기술은 상용화되면 EUV 한 대당 전력 사용량을 20% 감축할 수 있다.
윤 대통령은 “한국 정부는 이번 협력 프로젝트 성공을 위해 양국 정부 간 직접 소통을 강화하고 필요한 모든 지원을 할 것”이라며 “한국·네덜란드 반도체 동맹이 더욱 굳건해지는 계기가 되길 바란다”고 말했다.
펠트호번·암스테르담=도병욱 기자 dodo@hankyung.com
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