최근 반도체 장비업계에서는 부품 내식성을 높이려는 수요가 늘고 있다. 반도체 회로의 선폭이 미세해지면서 식각 과정에서 미세입자가 많이 발생해 부품 부식도가 높아지고 있어서다.코스닥시장 상장사인 그린리소스는 반도체 식각 장비 부품의 보호 코팅을 전문으로 하는 업체다. 코팅에 쓰는 소재인 산화이트륨을 2013년 업계 최초로 국산화했다. 이종수 그린리소스 대표(사진)는 14일 “코팅 소재 개발부터 코팅 장비 설계까지 직접 한다”며 “다른 업체보다 기술력이 좋은 이유”라고 말했다.
회사가 최근 강조하는 기술은 회로 선폭 10나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하의 초소형 반도체 공정에 적용되는 초고밀도 코팅 기술이다. 이 대표는 “10㎚ 이하 파운드리 공정에서는 우리 회사의 초고밀도 코팅 기술이 세계 최고 수준으로 평가받는다”며 “이 분야에서는 경쟁자가 없다”고 자평했다. 2021년에는 국내 파운드리 업체로부터 양산 테스트 승인을 받았다.
이 대표는 후발주자가 초고밀도 코팅 시장에 진입하기 쉽지 않을 것이란 점도 언급했다. 그는 “반도체 제조업은 생산 공정이 다양하다”며 “정상 작동하던 라인에서 불량품이 발생하면 최근에 바꾼 라인이 잘못됐다고 판단한다”고 말했다. 후발주자가 양산 승인을 받기 쉽지 않은 이유다.매출 규모를 키우기 위해 비포마켓(장비 출고 이전에 형성되는 시장)에도 진출할 예정이다. 지금은 출고돼 가동 중인 장비의 부품을 다시 코팅하는 식이라면, 앞으로는 출고 이전에 부품을 코팅해 장비사에 납품하는 사업 모델을 갖추겠다는 계획이다. 현재 미국의 주요 식각 장비사와 비포마켓 진입 계약을 위해 협의하고 있다.
핵융합 발전 등 친환경 에너지산업이 커지면 그린리소스가 신사업 영역으로 확대하고 있는 초전도 선재 관련 매출도 뛸 것으로 기대하고 있다. 초전도 선재는 전기 저항이 없는 고효율 전기에너지 소재로, 핵융합 발전의 필수 소재로 꼽힌다. 이 대표는 “그린리소스는 초전도 선재를 제조하는 원천 기술을 확보했다”며 “관련 시장이 어떤 속도로 얼마나 커질지가 관건”이라고 강조했다. 회사는 시장 변화에 빠르게 대응하기 위해 연구개발(R&D)도 적극 확대할 방침이다. 이 대표는 “올해 정부 연구 과제를 100억원 이상 수주했다”고 말했다.
인천=이미경 기자 capital@hankyung.com
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