반도체 소재 및 부품 전문기업 비씨엔씨는 글로벌 반도체 기업인 H사로부터 반도체 식각 공정용 부품 'CD9(보론 카바이드)'에 대한 퀄 테스트(품질검증)를 성공적으로 마무리하고 첫 PO(구매주문서)를 받았다고 27일 밝혔다. 비씨엔씨는 실리콘 카바이드(SiC)를 대체하기 위해 보론 카바이드를 자체 개발해왔다.
회사 측에 따르면 비씨엔씨의 CD9 소재는 메모리 생산 공정 중 옥사이드 에칭에서 주로 사용되는 Si(실리콘)와 SiC보다 내마모성이 뛰어난 보론 카바이드를 기반으로 한 신소재다. 그동안 SiC는 Si 대비 강한 내마모성으로 높은 성장세를 지속해 왔다. 그러나 메모리의 초미세화, 고단화 심화로 에칭 공정의 플라즈마 파워가 강해지면서 SiC 소재의 단점이 나타나기 시작했고, 이에 따라 이를 대체할 수 있는 차세대 신소재의 필요성이 커지고 있다.
CD9은 보론(Boron)을 주성분으로 높은 공유 결합 에너지를 보유하고 있다. 기존 소재 대비 부품의 수명이 30% 이상 길어 반도체 기기 업체는 부품의 교체 주기를 연장할 수 있을 뿐만 아니라 파티클(Particle) 발생도 적어 반도체 생산 수율을 향상할 수 있다고 비씨엔씨 측은 설명했다.
일반적으로 보론 소재는 높은 강도로 내마모성이 뛰어나다는 장점이 있지만, 제품화 과정에서 가공이 어려워 생산성이 떨어진다는 단점이 있다. 그러나 비씨엔씨는 소재 자체를 포커스 링(Focus Ring) 형태로 생산할 수 있는 특허 기술을 보유하고 있어 제품화 과정에서 재료비·가공비를 절감했다. 또 생산성을 높여 원가경쟁력을 확보했다. 비씨엔씨는 현재 CD9 소재와 부품에 대해 국내외에 22개의 특허를 등록 또는 출원한 상태이며, 추가 출원도 준비 중이다.
김돈한 비씨엔씨 대표는 "비씨엔씨는 합성쿼츠 'QD9+'를 개발해 현재 양산 공급하고 있으며, 또 CD9도 5년 전부터 준비해 왔다"면서 "이런 연구개발을 토대로 비씨엔씨는 향후 글로벌 소재·부품 전문기업으로 도약할 것"이라고 말했다.
진영기 한경닷컴 기자 young71@hankyung.com
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