기계연구원 개발 '플라스마 장치' 반도체 공정에 적용

기술이전받은 엘오티베큠이 플라스마 반응기 삼성전자에 공급

한국기계연구원은 송영훈 박사팀이 '반도체·디스플레이 분야 진공펌프 수명 연장을 위한 저압 플라스마 장비개발' 사업을 통해 개발한 플라스마 전처리 장치 기술을 중소기업 ㈜엘오티베큠에 이전했다고 21일 밝혔다.

엘오티베큠은 이전받은 기술을 이용해 개발한 플라스마 반응기를 삼성전자에 공급, 반도체 공정에 적용돼 현재까지 100대 이상 설치됐다.

플라스마는 고체, 액체, 기체에 이은 이온화된 제4의 물질로, 낮은 온도에서도반응성이 뛰어나다는 장점이 있다. 반도체 공정에 플라스마 기술을 적용한 것은 이번이 처음이다.

기존에는 반도체 공정에서 배출되는 배기가스의 처리를 위해 진공펌프에 연소기나 전기히터 등을 설치해 사용하고 있지만, 에너지가 많이 들고 배기가스의 분해 효율이 낮다는 한계가 있다.

게다가 배기가스가 입자로 바뀌면서 진공펌프 안에 쌓여 펌프의 수명을 단축시키는 등 문제가 있었다.

연구원은 반도체 공정의 배기 라인에 플라스마 반응기를 설치해 진공펌프의 수명을 획기적으로 늘리는 방법을 개발했다.

플라스마 반응기는 낮은 온도에서도 반응할 수 있어 많은 에너지를 들이지 않고도 배기가스를 이산화탄소 등 안정적인 상태의 가스로 바꿀 수 있고, 부산물도 발생시키지 않는다.

특히 반도체 및 디스플레이 공정에서 주로 배출되는 물질로 지구 온난화 지수가높은 '과불화 화합물'을 기존 공정의 10분의 1의 에너지를 사용해 처리할 수 있어,지구 온난화 방지 규제에도 대응할 수 있을 것으로 기대된다.

기존에는 15∼30일에 한 번씩 진공펌프를 바꿔야 해 생산을 중단해야 하는 등불편함이 있었지만, 이번에 개발한 기술을 지난 1년 동안 반도체 공정에 적용한 결과 한 번도 교체하지 않았다고 연구원은 전했다.

송영훈 박사는 "정부출연 연구기관에서 중소기업에 이전한 기술이 대기업 생산라인에 적용돼 창조경제 생태계의 선순환 구조를 만들어냈다"고 의의를 밝혔다.

jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>