'머리카락 10만분의 1' 나노입자 진단기술 상용화

표준연·성균관대, 중소기업에 기술 이전…대기업에 판매

반도체·디스플레이 소자로 쓰이는 나노미터(㎚, 10억분의 1ｍ) 크기 입자의 오염 여부를 실시간으로 진단할 수 있는 기술이 상용화됐다.

정부출연 연구기관과 대학이 공동으로 개발한 이 기술은 중소기업이 이전받아대기업에 판매하는 등 성과를 거뒀다.

한국표준과학연구원 강상우 박사와 성균관대학교 김태성 교수 공동 연구팀은 진공에 떠도는 머리카락 굵기 10만분의 1 크기의 나노입자의 특성을 실시간으로 분석하는 장비인 'PCDS'가 측정장비기업 ㈜코셈에 기술이전된 지 2년 만에 제품으로 출시됐다고 12일 밝혔다.

나노입자는 반도체, 디스플레이 소자 개발에 이용되지만 소자를 오염시킴으로써불량의 원인이 되기도 한다.

대부분의 반도체 제품은 제조 공정이 끝난 뒤 전자현미경 등을 통해 제품의 불량 여부를 검사하게 된다.

하지만 불량이 발생하면 제품을 전량 폐기해야 하는 데다, 진공 환경에서 분석장비를 사용하는 데 한계가 있었다.

연구팀이 개발한 기술은 나노입자의 오염 여부를 실시간으로 감지해 미리 제품의 불량 여부를 진단하는 기술이다.

전기적 입자 분류기술과 고도화된 전자현미경 기술을 이용해 대기압의 1만분의일 진공 환경에 떠도는 수십∼수백 나노미터 크기 입자의 특성을 측정할 수 있다.

㈜코셈은 디스플레이 제작 관련 대기업인 A사에 제품을 판매했으며, 다른 대기업에도 판매할 예정이다.

본격적으로 상용화되면 앞으로 5년 내 500억원 규모의 시장이 형성될 것으로 예상된다.

표준연 강상우 박사는 "PCDS 장비는 점차 고집적화·대면적화하는 반도체, 디스플레이 산업에서 제품의 불량을 감지하는데 최적의 해결책을 제공할 것"이라면서 "산·학·연이 융합해 기술사업화를 성공한 대표적인 사례로, 수천억원의 산업·경제적 효과를 거둘 것으로 기대한다"고 말했다.

jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>