티에프씨랩, 사업다각화 지원 사업 통해 ‘반도체용 로봇 상태 진단 장비’ 개발

로봇 솔루션 전문기업 '(주)티에프씨랩(대표:최성순)'이 한국산업단지공단 경기지역본부(경기반월시화스마트그린산단사업단)의 사업다각화 지원 플랫폼 사업 지원을 통해 '반도체용 로봇 상태 진단 장비'를 개발하는데 성공했다.

티에프씨랩은 안산 공단 소재 제조 서비스 회사로 반도체 공정의 웨이퍼 반송용 로봇과 주변 장비를 진단 평가, 개선하는 기술기반의 강소기업 중 하나다. 국내 반도체용 로봇 수리분야에서 경쟁력을 구축하고 있으며, 주요 고객이 대기업인 만큼 협업을 통해 반도체 제조 현장에서의 로봇 상태 진단 장비 개발 등 신제품 개발 및 신규 사업 영역으로의 확대를 추진하고 있다.

최근 반도체용 로봇 및 주변장치에 대한 수리 개조 시장의 경쟁이 심화되고 있는 가운데 미래 지속 성장과 안정적 수익 확보의 어려움을 대비하기 위해 사업다각화를 추진하던 중, 반월시화국가산업단지 입주기업을 위한 사업 다각화 지원 플랫폼 사업에 지원하게 됐고, 현재 지원 사업을 통해 사업다각화 사업을 진행중에 있다.

올해로 3년째 추진 중인 사업다각화 지원 플랫폼사업은 한국산업단지공단에서 지원하는 반월시화스마트그린산업단지 촉진사업의 대표사업 중 하나로, 제조기업의 성장정체 및 부가가치 창출한계를 극복하고자 디지털 환경기반의 신성장 동력마련을 통한 사업 다각화를 성공적으로 지원하고 있다.

사업다각화 지원 플랫폼 사업은 총 3년간 국비 120억원, 경기도비 2억6천만원, 안산시비 6억원 등 총 155억원의 예산이 투입되는 사업으로, 전담기관인 한국산업단지공단과 사업 수행기관인 경기테크노파크, 한국과학기술정보연구원, 한국생산성본부, 한양대학교 ERICA 산학협력단, 한국전자기술연구원이 추진하는 사업이다.

사업다각화 지원 플랫폼 사업을 통해 티에프씨랩이 개발한 '반도체용 로봇 상태 진단 장비'는 반도체 제조 공정의 웨이퍼 취급용 로봇의 상태 진단용 장비로, 로봇의 동작 위치 좌표와 End-Effect의 진동을 주기적으로 측정해 데이터를 축적하고 분석, 로봇 위치 정밀도의 변화와 기능 저하 상태를 예측해 대량 불량 발생을 억제하고 라인 정지 예방을 지원하는 장치라고 할 수 있다.

반도체 라인의 로봇은 24시간 가동 하기때문에 주요 구성품의 열화가 지속적으로 발생하고, 좁은 공간에 각종 장치와 연결 설치돼 진동 소음의 전달로 체결류의 이완이 발생하기 마련이다. 이러한 부분들은 로봇 고장의 원인될 수 있기 때문에 이를 사전에 감지하고 점검, 수리 등 예방 보전을 강화할 수 있는 주요 기능이 탑재된 것이 특징이다.

또한 현장 적용성을 고려한 기구 구조 및 소재를 적용 했으며, 경량화를 위해 3D 프린팅 기법에 의한 부품 가공을 적용하고, 부품수를 줄여 조립이 용이하도록 한 것도 특징이라고 할 수 있다.

뿐만 아니라 밧데리 및 무선 충전 방식의 전원 공급을 제공해 장비 취급과 유지관리가 보다 편리하도록 제작됐으며, 터치스크린과 메뉴 형식의 UI를 제공함으로써 장비 자체의 조작 운영이 간편하도록 개발됐다. 또, 외부 PC에서의 데이터 저장 및 분석 애플리케이션의 제공으로 데이터 관리 분석이 가능하도록 제작되었다.

한편, 티에프씨랩은 반도체 웨이퍼 이송장치 'EFEM(Equipment Front End Module)' 운영관리 시장의 수리, 개조, 개선, 수율, 신뢰성 평가 및 제작까지 '원 스탑 토탈 솔루션(One Stop Total Solution)'을 통해 한 차원 높은 고객 지향적 서비스 제공 할 계획을 갖고 있다고 밝혔다.

티에프씨랩의 최성순 대표는 "새로운 반도체용 로봇 상태 진단 장비 개발로 장비의 보급과 함께 주기적인 A/S 매출이 기대되고 있다"며 "반도체 제조 현장에서의 로봇 상태 진단을 통한 예지 보전을 강화해 로봇 수리 개조 수요 증가, 연계 매출 증가가 예상하고 있다"고 말했다. 이어 "우리 회사는 독자적인 기술을 바탕으로 정밀 계측 제어 기술과 데이터 분석 기술을 확보해 추가 모델 확대와 티칭 지원 장비 등 제품 다양화를 수년 내에 추진할 계획"이라고 말했다.