일부 생산라인 포토장비 일시 자동중지…곧바로 재가동
LG디스플레이 파주 공장서도 정밀장비 일시정지, 점검후 정상가동
(서울=연합뉴스) 이승관 기자 = 삼성전자와 SK하이닉스는 15일 오후 경북 포항에서 발생한 지진으로 인한 국내 반도체 생산라인 차질이나 피해는 전혀 접수되지 않았다고 밝혔다.
진동에 민감한 일부 반도체 장비가 지진을 감지하고 일시 중지됐으나 즉각 재가동되면서 생산라인 차질은 없었던 것으로 파악됐다.
삼성전자는 이날 지진 직후 경기도 기흥·화성·평택 공장과 충남 아산의 온양 공장 등을 대상으로 상황 파악에 나섰으며, 현재까지 피해가 없는 것으로 나타났다고 밝혔다.
반도체 생산설비 가운데 웨이퍼에 빛을 쬐어 반도체 회로를 인쇄하는 포토장비 등은 진동에 민감해 지진을 감지하면 자동적으로 작동을 멈추는데, 이날 지진 이후에도 일부 라인에서 이런 현상이 발생한 것으로 알려졌다.
그러나 즉각 작동이 재개되면서 생산 차질은 전혀 없었던 것으로 확인됐다고 회사측은 설명했다.
또 진앙과 멀어 진동이 크게 느껴지지 않았기 때문에 직원 대피도 없었던 것으로 파악됐다. 다만 포항 인근 지역인 경북 구미의 휴대전화 생산 라인에서는 매뉴얼에 따라 직원들이 즉각 긴급 대피했다.
회사 측은 여진이 계속됨에 따라 상황을 계속 파악하며 만일의 사태에 대비하고 있는 것으로 알려졌다.
SK하이닉스도 경기도 이천과 충북 청주 반도체 공장에서 현재까지 접수된 피해나 생산라인 중단은 전혀 없다고 밝혔다.
회사 관계자는 "진동에 민감한 일부 장비는 지진 발생 시 큰 피해를 막기 위해 자동적으로 일시 정지되고 즉각 정상가동되기 때문에 피해는 없는 것으로 나타났다"면서 "피해가 있었다면 직원들이 즉각 중앙방재실로 신고하게 돼 있는데, 지금까지는 전혀 없는 상태"라고 말했다.
LG디스플레이도 경기도 파주와 경북 구미 공장의 상황을 파악한 결과 파주 공장은 전혀 이상이 없었으나 구미 공장에서 일부 장비가 일시 가동 중단된 이후 즉시 정상화됐다고 밝혔다.
회사 측은 "일부 정밀 장비가 일시 정지했으나 점검 후 정상가동 중인 것으로 확인됐다"고 설명했다.
지난해 9월 경북 경주에서 발생한 역대 최대 규모의 강진 때도 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 생산라인 및 LG디스플레이 패널 생산라인의 일부 장비가 일시적으로 가동 중단된 바 있다.
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