반도체 노광장비 1위 ASML, 화성에 2천400억 들여 뉴캠퍼스 첫삽

반도체 노광장비 1위 ASML, 화성에 2천400억 들여 뉴캠퍼스 첫삽


(서울=연합뉴스) 김기훈 기자 = 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 16일 경기도 화성에서 반도체 클러스터 '뉴 캠퍼스' 기공식을 열었다.
이날 기공식에는 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO), 문동민 산업통상자원부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원, 수요기업 등 관계자 160여명이 참석했다.
ASML이 2천400억원을 들여 2024년 말 완공 예정인 뉴 캠퍼스에는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다.
이번 화성 뉴 캠퍼스 조성을 통해 ASML과 국내 반도체 기업과의 협력이 더 긴밀해지고, 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 평가된다.
ASML은 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 업체다.
노광 공정이란 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣는 기술로, EUV 노광장비를 활용하면 짧은 파장으로 세밀하게 회로를 그릴 수 있다.
글로벌 반도체 업계는 EUV 노광 장비를 확보하기 위해 치열한 경쟁을 벌이고 있다.
베닝크 CEO는 이번 방한 기간 이재용 삼성전자[005930] 회장을 만나 협력 방안을 논의할 것으로 알려졌다.

kihun@yna.co.kr
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