3S 웨이퍼캐리어 기술, 한국산업기술진흥협회 인증기술 선정

3S는 이 회사가 개발한 웨이퍼캐리어(Foup) N2 purge 성능 개선 기술이 한국산업기술진흥협회 신기술(NET) 인증기술로 선정됐다고 29일 밝혔다.

이 기술은 FOUP 내부 잔류 가스를 빼내기 위해 질소를 투입하던 기존 방법을 개선해 분산토출 유도로를 통해 신속하게 질소 충전을 가능하게 한다. 3S는 이 기술을 통해 30% 이상 작업시간을 단축할 수 있으며 FOUP를 깨끗하게 해 불량 감소 및 반도체 생산 수율 향상을 꾀할 수 있다고 설명했다.

NET은 신기술의 상용화를 촉진시키기 위해 산업통상자원부 산하 기술표준원에서 발급하는 인증이다. NET 인증을 받은 제품은 정부기술개발사업 신청 시 우대된다. 기술보증기금을 통한 기술금융지원등의 혜택도 받을 수 있다.

3S 관계자는 “이번 NET 신기술 인증을 통해 당사의 웨이퍼캐리어 설계기술이 글로벌 트렌드를 선도한다는 것을 인정받았다"며 "웨이퍼캐리어 제조사로서의 입지를 확고히 할 수 있는 계기가 될 것”이라고 말했다.

한경닷컴 정혁현 기자 chh03@hankyung.com





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