[이달의 산업기술상] 코윈디에스티, "진공속 아니라도 반도체 장비 결함 수리"

제3회 산업기술상 최우수상 - 신기술 부문


‘진공이 아닌 일반 대기 상태에서 포토마스크의 결함을 고칠 수는 없을까.’

레이저장비업체 코윈디에스티의 이효성 부사장(49·사진)과 회사 연구진은 3년 동안 이 고민을 해결하는 데 매달렸다. 포토마스크란 반도체와 액정표시장치(LCD)의 주요 재료로, 유리기판 위에 반도체의 미세회로를 형상화한 것이다. 기존 포토마스크 수리 기계는 진공·고온 상태에서 포토마스크의 결함을 고쳐 시간이 오래 걸리는 단점이 있었다. 값도 대당 150억원 수준으로 고가였다. 주로 일본 업체들이 시장을 차지하고 있었다.

코윈디에스티는 2009년부터 상온에서 진공이 아닌 상태로 포토마스크 결함을 수리할 수 있는 기계를 개발하는 데 총력을 기울였다. LCD 포토마스크 샘플을 구하기가 쉽지 않아 국내 포토마스크 업체 PKL 및 일본 업체 DMP, SKE와 손을 잡았다. 이 부사장은 “고객사인 업체들을 설득해 공동개발에 나섰다”며 “고객사에서도 기계가 개발되면 장점이 많다는 걸 알았기 때문에 선뜻 응했다”고 말했다.

결국 지난해 4월 코윈디에스티는 자사가 가지고 있는 레이저 기술을 이용해 상온·대기 상태에서도 포토마스크 결함 수리가 가능한 기계를 만들었다. 결함 수리 과정에서 1~2시간을 절약할 수 있고, 가격도 기존 제품보다 5분의 1 수준으로 낮다. 개발이 끝나고 사업화에 성공해 약 15억원 가량 관련 매출을 올렸다. 또 기술 인증과 업계 표준기술로 인정받았다. 이 부사장은 “전 세계 포토마스크 회사들의 문의도 잇따르고 있다”고 전했다. 향후 유기발광다이오드(OLED), 초박막 액정표시장치(TFT-LCD) 등의 시장이 성장하면서 관련 매출도 늘어날 것으로 회사 측은 기대하고 있다. 이 같은 공로를 인정받아 코윈디에스티는 이달의 산업기술상 신기술 부문 최우수상을 받는다. 심사위원 측은 “생산성을 세 배 향상시킨 제품 개발로 국산화에 크게 기여했다”고 설명했다.

조미현 기자 mwise@hankyung.com





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