양민양·강봉철 교수팀, 마이크로·나노 구조체 동시제조기술 개발

[ 한민수 기자 ]

나노미터 크기의 구조체와 마이크로미터 크기의 구조체를 단일 공정으로 한 번에 제조할 수 있는 원천 제조기술이 개발됐다.

18일 과학계에 따르면 최근 한국과학기술원(KAIST) 기계공학과의 양민양 교수와 경남과학기술대학교 메카트로닉스공학과의 강봉철 교수가 공동연구로 이번 기술을 개발했다. 기존에는 나노미터와 마이크로미터 크기의 구조체를 제조하는 방법은 서로 다른 제조 공정을 사용했다.

'이종복합광간섭노광(Heterodyne interference lithography)'으로 불리는 이번 기술은 서로 다른 파장의 빛을 이중간섭시켜 나노 크기의 간섭무늬들을 마이크로미터 주기의 파형으로 변조시킨다는 설명이다. 마이크로미터 구조물들 사이에 크기가 100분의 1 이하의 나노 구조물을 추가 공정없이 단일공정으로 제조가 가능하다. 이는 최근 이슈가 되는 차세대 광학소자, 전자소자, 바이오소자를 개발하는 데 핵심이 되는 멀티스케일 제조기술이다.

특히 기존 제조기술로 모방제조가 어려운 해바라기꽃과 장미꽃의 표면 미세 구조를 거의 동일하게 제조할 수 있기 때문에 향후 초소수성 고접착력을 갖는 기능성 표면의 제조에 응용될 것으로 기대되고 있다.



양민양 교수와 강봉철 교수가 공동개발한 이번 기술은 '이종간섭 광 노광 공정을 이용한 단일공정 마이크로·나노 멀티스케일 제조기술'이라는 제목으로 응용물리학 분야의 저명 학술지인 'Applied Physics Letters' 12월 온라인 속보로 소개된 바 있다. 이 외에도 양 교수와 강 교수는 플렉서블 터치 디스플레이에 적용 가능한 레이저 패터닝 기술을 공동 개발해 '네이처 포토닉스' 2011년 4월호 '뉴스 앤 뷰즈'에 선정되기도 했다.

한경닷컴 한민수 기자 hms@hankyung.com






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