테스, 박막증착관련 특허 취득

[ 김민재 기자 ] 테스는 8일 기판에 증착되는 박막의 품질을 균일하게 유지할 수 있는 박막증착장치 관련 특허와 플라즈마를 공급해 효과적인 박막증착을 수행하는 플라즈마 발생장치 특허를 취득했다고 공시했다.

한경닷컴 김민재 기자 mjk1105@hankyung.com