주성엔지, 세계 최초 시공간 분할 플라즈마 화학증착기 개발

[ 한민수 기자 ] 주성엔지니어링은 21일 세계 최초로 시공간 분할 플라즈마 화학증착장비인 STD(Space Time Divided Plasma) CVD 개발에 성공해, 미국 반도체 연구기관에 다음달 공급할 계획이라고 밝혔다.

주성엔지가 개발에 성공한 싱글타입 STD CVD는 반도체용 증착장비로 기존 화학증착(CVD) 및 원자층증착(ALD)뿐만 아니라, 질화(Nitridation), 산화(Oxidation), 도핑(Doping)과 금속(Metal)전극 증착 기능 등 다양한 공정 대응이 가능하다는 설명이다.

특히 차세대 반도체공정의 효율성을 극대화하기 위해 새로운 공정개발에 공을 들였다. 또 최대 10개까지 싱글 챔버를 통합할 수 있도록 제작돼 단위 시간당 생산량을 극대화했다.

회사 관계자는 "세계 반도체 산업의 미래를 만들어 가고 있는 중심부에 차세대 장비를 공급한다는 것은 향후 반도체 시장을 선점할 수 있는 기회가 될 수 있다는 점에서 기대가 크다"며 "이번 공급이 향후 장비 매출의 확대로 이어질 수 있도록 최선을 다할 계획"이라고 말했다.

한경닷컴 한민수 기자 hms@hankyung.com