테스, 박막증착장치 관련 특허 취득

[ 권민경 기자 ] 테스는 '박막증착장치와 그 기판인입 및 인출방법'에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

회사 측은 "이 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 박막증착장치 기술에 대한 것으로, 가스공급부의 기판이동부가 개구부에 근접할 수 있어 공정 수행시 안전성을 높여준다"고 설명했다.

한경닷컴 권민경 기자 kyoung@hankyung.com



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