이 장비는 자체발광하는 OLED의 소재를 보호하기 위해 얇은 박막을 여러 층 쌓아 OLED의 수명을 늘리는 핵심 공정으로 패스트 원자층박막증착(ALD) 기술을 적용한 TFE 장비다.
주숭일 테스 대표는 "OLED 장비의 해외수주를 토대로 해외 마케팅에 더욱 매진할 것"이라며 "주력 제품인 반도체 신규장비개발에도 박차를 가하겠다"고 밝혔다.
조아라 한경닷컴 기자 rrang123@hankyung.com
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