[이달의 산업기술상] 박근오 테스 상무, 플래시 메모리 만드는 필수장비 국산화

신기술 부문 - 1월 장관상


[ 김은정 기자 ] 박근오 테스 상무(사진)는 반도체 제조장비 분야의 기술 경쟁력을 인정받았다. 테스는 국내에서 유일하게 반도체 제조에 쓰이는 하드마스크 증착용 비정질 탄소 박막 플라즈마 화학증착장비를 국산화했다. 플래시 메모리 등을 제조하는 데 필수적인 장비로 반도체 공정 미세화에 사용된다. 테스가 국산화하기 전에는 전량 수입에 의존할 정도로 개발이 까다롭다.

테스는 반도체 전공정장비 시장에서 독자적인 국산 장비를 내놓는다는 목표로 2002년 설립됐다. 꾸준한 연구 인력 확보와 기술 개발로 2007년에는 태양전지 장비사업에도 진출했다. 태양전지 제조 핵심 장비인 플라즈마 화학증착장비는 테스의 주력 제품인 반도체 증착장비와 기술 유사성이 높다. 이후 태양광 셀 제조장비, 디스플레이 제조장비 등 다른 분야의 증착장비도 개발했다.

테스는 설립 후 매출의 20% 이상을 연구개발(R&D)에 투자하고 있다. 특히 태양전지 장비 개발에 집중 투자한다. 그 성과로 실리콘 박막형 태양전지를 위한 R&D 솔루션 시스템, CIGS(구리·인듐·갈륨·셀렌) 증착장비, 차세대 고효율 태양전지용 증착장비 등의 개발·양산에 성공했다. 고효율 박막 태양전지 제조에 필요한 스퍼터 개발과 카드뮴텔루라이드(CdTe) 태양전지 기술 개발에도 주력하고 있다.

김은정 기자 kej@hankyung.com




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