도현우 NH투자증권 연구원은 "향후 반도체 소자의 구조가 더욱 복잡해질 전망이고, 이는 CMP 공정의 확대 적용 등을 통해 해결할 수 있다"며 "CMP 관련 장비 기업과 재료 업체들의 수혜가 예상되고 국내 관련 기업으로는 케이씨텍, 동진쎄미켐 등이 있다"고 밝혔다.
최근 트랜지스터 관련 핀펫(FinFET) 등 공정을 통해 게이트가 3차원(3D) 구조로 바뀌고 있고, 낸드플래시도 3D 낸드로 바뀌면서 CMP 공정 수요가 크게 증가하고 있다고 설명했다.
도 연구원은 "최근 반도체 소자 구조와 관련해 로직 디자인의 일부 레이어 레이아웃이 양방향에서 단방향으로 변환됐다"며 "이 변화는 SAQP(Self Aligned Quad Patterning) 공정에서 라인을 패터닝하고 라인을 절단하기 위한 '식각(Etch)-필(Fil)l-CMP' 공정이 필요하다"고 덧붙였다.
오정민 한경닷컴 기자 blooming@hankyung.com
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