대기업 부문 수상자인 오 수석연구원은 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 세정장비를 개발했다. 웨이퍼는 반도체 집적회로의 주재료다. 반도체 시장에서 웨이퍼 관리의 중요성은 갈수록 커지고 있다. 반도체 크기가 작아지면서 제거해야 하는 웨이퍼의 불순물 크기도 그만큼 작아지고 있다. 오 수석연구원은 10나노급 반도체 기준 19나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 크기의 불순물까지 제거할 수 있는 세정장비를 개발했다. 이를 통해 기업 경쟁력을 강화하고 국내 반도체 장비산업 발전에 크게 기여했다는 평가를 받았다. 그는 “대한민국 반도체산업의 경쟁력 향상에 기여할 수 있도록 기술 개발에 더욱 매진하겠다”고 말했다.
중소기업 부문 수상자인 김 소장은 대용량 데이터를 저장할 수 있고, 추출·분석 작업에 최적화된 ‘열 기반 데이터베이스 관리체계’를 국내 최초로 개발했다. 열 단위로 데이터를 저장하면서 대량 데이터를 빠르게 처리할 수 있는 체계다. 기존 국내 데이터베이스 관리 시장에서는 행 기반 저장방식을 채택해왔다. 이 방식으로는 대용량 데이터를 처리하는 데 한계가 있다는 평가가 대부분이었다. 김 소장은 열 기반 저장방식을 적용해 특정 주제에 맞게 데이터를 추출하고, 원하는 정보를 쉽게 찾을 수 있도록 했다. 동시에 대용량 데이터를 저장, 추출, 분석할 수 있는 데이터 관리체계를 구축했다. 이 기술은 수출되기도 했다. 김 소장은 “지속적인 연구개발을 통해 국내 기술 선도에 앞장서겠다”고 말했다.
윤희은 기자 soul@hankyung.com
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