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테스, 반도체 신제품 '저압화학기상증착장비' 양산 성공 2013-06-25 10:50:00
공정미세화시 공정수도 증가해 장비수요가 꾸준한 장점을 지니고 있다고 강조했다. 특히 시간당 웨이퍼 처리량을 크게 향상시켜 고객의 생산효율성 개선에 기여할 것이라고 설명했다.회사 관계자는 "반도체 장비분야에서 가스방식 에칭장비 및 pecvd장비 외에 저압화학기상증착장비까지 양산에 성공함으로써 제품다변화를...
"버려지는 배기가스 에너지로 재활용한다" 2013-06-20 10:40:48
있는 기술"이라면서 "배기가스 응축열 회수 기술과 고온 열펌프 시스템을 조합한 이번기술이 상용화되면 새로운 시장을 개척할 수 있을 것"이라고 말했다. 이번 기술은 지난 4월부터 ㈜롯데푸드 청주공장에 설치돼 공정수 온수공급에 활용되고 있다. jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단...
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