KLA, 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템 발표 2020-07-21 14:57:25

없는 결함을 검출하고 보고함으로써 극자외선 (EUV) 리소그래피 공정으로 제조되는 반도체 칩을 비롯한 고성능 로직과 메모리 반도체 칩의 출시 시기를 앞당기도록 설계된 제품이다. 오랜 시간 동안의 연구 개발의 성과가 반영된 다양한 혁신적 기술을 도입하여 처음부터 끝까지 새롭게 설계된 eSL10은 시중의 다른 전자빔...

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"태양의 캠프파이어"…인류 역사상 가장 가까이서 본 태양 이미지 공개 2020-07-16 22:32:29

`극자외선이미저`(EUI)로 잡아낸 작은 태양폭발 현상에 `캠프파이어`, `나노 플레어`(nanoflares)라는 이름을 붙였다. 솔라 오비터가 비행한 첫 타원 궤도의 근일점은 태양 표면에서 약 7천700만㎞ 떨어진 곳으로, 금성과 수성 궤도 사이에 있다. 이는 태양과 지구 거리의 절반 정도로, 이보다 가까이서 카메라가 태양...

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상반기 외국인직접투자 76억달러…코로나 여파로 22% 감소(종합) 2020-07-15 13:32:02

3천억달러 규모의 극자외선(EUV)용 포토레지스트 개발·생산시설 관련 투자(미국)와 2억5천만달러 규모의 기업용 대형 프린팅 연구개발 관련 투자(네덜란드)를 유치했다. 신산업 분야에선 미국의 A사가 2억달러를 투자해 데이터센터 증설에 나섰으며, 미국의 B사는 배송 서비스 고도화를 위한 새로운 정보기술(IT) 개발에...

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상반기 외국인직접투자 76억달러…코로나 여파로 22% 감소 2020-07-15 11:00:03

3천억달러 규모의 극자외선(EUV)용 포토레지스트 개발·생산시설 관련 투자(미국)와 2억5천만달러 규모의 기업용 대형 프린팅 연구개발 관련 투자(네덜란드)를 유치했다. 신산업 분야에선 미국의 A사가 2억달러를 투자해 데이터센터 증설에 나섰으며, 미국의 B사는 배송 서비스 고도화를 위한 새로운 정보기술(IT) 개발에...

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일본이 한국반도체 겨냥해 수출 막은 감광재 국내 생산 눈앞 2020-07-09 15:28:41

공정인 극자외선(EUV)반도체공장 들어가는 감광재로 지난해 7월 일본의 수입규제에 들어간 3개 반도체·디스플레이 소재 가운데 핵심이다. 반도체 식각 소재인 고순도 불화수소(에칭가스)와 플루오린 폴리이미디는 국산화에 성공해 일본 제품을 대체하고 있지만 포토 레지스트는 기술장벽때문에 국산화에 애를 먹었다....

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문 대통령 "글로벌 소부장 강국 도약…일본과 다른 길 가겠다" 2020-07-09 11:53:49

두 배 이상 생산할 수 있게 됐다"며 "EUV(극자외선)레지스트도 글로벌 기업의 투자를 유치했다"고 말했다. 그러면서 "정부는 2조원이 넘는 소부장 특별회계를 신설해 집중투자했고 인허가 기간을 대폭 단축했다"며 "또 대기업과 중소기업간 새로운 상생 협력 모델도 정착됐다"고 덧붙였다. 신종 코로나바이러스(코로나19)...

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