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제우스, 반도체 매엽 고온황산장비 개발…이달 공급 확정 2014-08-13 09:40:58
고온황산장비(hts)의 개발 및 테스트에 성공해 이달 안으로 시장 공급이 시작될 예정이라고 13일 밝혔다.매엽 고온황산장비는 웨이퍼 경면을 반전해 공정 처리하는 방식을 적용한다. 기존 장비에서 발생하던 부식 및 역오염 등의 예방과 제어가 가능하다는 설명이다.기존 장비는 약품간의 화학적 반응작용을 통해 약액의...
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