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[소부장 스타트업 100]"벤처 성공의 DNA를 만난다"-이솔 2023-02-15 14:10:17
영향이 있는지를 판단하는 EUV 현미경 마지막으로 EUV 펠리클을 사용할 경우 EUV 펠리클 관련 장비가 필요하다. 현재 네델란드와 독일, 그리고 일본기업이 100% 독점을 하고 있는 실정이다. 그 중에서도 이솔은 핵심 장비로 손꼽히는 EUV 마스크 리뷰 장비로 EUV 현미경의 일종이라고 할 수 있다. EUV 마스크를 제작할...
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TSMC 꺾을 '삼성 비밀병기' 中企가 만든다 2023-01-24 17:09:55
EUV 포토마스크는 전용 펠리클이 없으면 한두 번만 쓰고 버려야 한다. 이 때문에 파운드리 업체들은 오염된 비싼 포토마스크를 매번 바꿔가며 회로를 만들고 있다. 아무리 세척해도 불순물이 묻기 때문에 수율이 떨어지고 이는 곧 교체로 이어져 비용 부담이 커진다. 문제는 현장에서 원하는 만큼의 투과율이 나오는 게...
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과기정통부, 용융염원자로(MSR) 전담 개발 연구실 지원한다 2023-01-24 15:07:16
기술 개발을 적극 지원할 계획"이라며 "과제 성과를 잘 관리해 소재 부품 장비 국산화에 기여하겠다"고 말했다. 지난해 나노 및 미래소재 기술 개발사업은 한국전자기술연구원이 반도체 EUV 펠리클 기술을 개발해 그래핀랩에 이전하고, 한국세라믹기술원이 고온 플라즈마 환경을 견디는 초미세 반도체 공정 소재를 개발해...
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TSMC 잡을 '비밀무기'…삼성 '이 부품'에 사활 걸었다 [강경주의 IT카페] 2023-01-23 08:00:05
펠리클 투과율이 상용화를 논할 정도로 높아졌고 삼성전자도 자체 기술을 확보한 것으로 알려졌다. EUV펠리클은 포토마스크(반도체 회로패턴을 그린 유리기판)에 먼지가 붙지 않도록 씌우는 얇은 필름을 말한다. 공정 미세화로 수요가 늘고 있는 데다 불량률을 낮추고 웨이퍼 투입량을 줄여줘 삼성전자와 TSMC가 관련 기술...
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그래핀랩, '삼성의 고민' 해결할 신소재 개발 2022-12-14 17:52:30
부스터 역할을 할 것”이라고 설명했다. 펠리클은 대기 중 분자나 오염으로부터 포토마스크 표면을 보호하는 나노 단위의 박막이다. 5나노 이하 초미세 공정에 필수로 사용되며 주기적인 교체가 필요한 소모품이다. EUV 장비 광원의 파장이 짧은 까닭에 펠리클을 얇게 구현하고 투과율을 높이는 기술이 필요하다. 그동안은...
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"삼성·TSMC가 잠재 고객"…그래핀랩, 반도체 수율 높일 소재 개발 2022-12-12 15:30:55
다른 펠리클 재료인 탄소나노튜브(CNT)는 공정 중 수소와 만날 경우 화학 반응에 의한 손실이 일어나기도 한다. 실리콘과 CNT 소재 모두 수율 저하 가능성을 지니고 있다. 그래핀랩은 투과도와 내열성이 높은 그래핀이 펠리클 소재로 가장 적합하다고 봤다. 흑연을 원료로 한 그래핀은 두께가 0.2나노에 불과해 눈으로 볼...
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과기부 6월 엔지니어상에 FST 전성철·ANH스트럭쳐 최수영 2022-06-13 12:00:07
불량 감소를 위해 회로 원판을 보호하는 초박막 펠리클을 자동 부착 및 분리하는 장비다. 전 책임연구원은 이 장비와 관련한 핵심 기술인 '혼합 접착제 자동 도포기술'을 독자 개발했다. 중소기업 수상자인 최수영 ㈜에이엔에이치스트럭쳐 팀장은 국내 최초로 '라이너 없는 복합재 극저온 추진제 탱크'를...
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허리 불편한 직장인들 공동구매…삼성맨도 탐내는 '의자' [실리콘밸리 나우] 2022-04-06 00:34:34
소재 펠리클을 써서 체중을 분산시키고 바람이 잘 통하게 한 점도 혁신 포인트로 꼽힌다. 처음엔 '무슨 의자가 저렇게 생겼냐'는 비아냥까지 들었지만 29년이 지난 현재까지 세계 최고의 사무실 의자 위상을 유지하고 있다. 디자인 전문가 김신씨가 2017년 디자인프레스에 기고한 글을 보면 허먼밀러의 에어론은...
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폐수처리·도로 확충 절실한데…정부 부처간 칸막이에 지지부진 2021-09-22 18:04:09
극자외선(EUV) 펠리클을 개발 중인 에스앤에스텍은 “연도별로 폐수를 얼마나 처리할 수 있는지 알 수가 없어 사업계획을 짜지 못하고 있다”고 토로했다. 용인테크노밸리산업단지에 입주한 이 업체는 자비로 폐수처리시설을 짓고 있다. 용인시는 산업단지의 폐수 처리 총량을 환경부가 정하기 때문에 시에서 마음대로...
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삼성이 200억 투자한 디엔에프 "전구체 등 반도체 소재 국산화" 2021-08-01 17:16:32
새길 때 쓰는 포토마스크의 보호막인 펠리클과 반도체 식각공정용 온도 조절장치인 칠러 등을 생산하는 업체다. 디엔에프를 계기로 삼성전자의 핵심 협력사 투자가 늘어날 수 있을 것으로 업계는 예상하고 있다. 삼성전자는 동반 성장을 위해 지난해 6개 협력사에 1900억원 정도를 투자했다. 김병근 기자 bk11@hankyung.com...
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