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원익아이피에스, 3나노 파운드리 양산 공정 진입 성공 2022-08-10 13:58:00
신규 개발에 성공한 공정 기술은 EUV 공정 도입에 따라 필요한 신규 박막을 PECVD 방식으로 성장시키는 기술, SADP(Self-Align Double Patterning)방식에 적합한 박막을 생성하는 기술 및 저온에서 하드마스크의 고품질을 유지할 수 있는 공정 기술을 접목했다. 현재 원익아이피에스는 3nm의 파운드리 제품의 세계 첫 양산...
서울대 연구팀, 빛으로 작동하는 '양자엔진' 세계 첫 구현 2022-07-22 00:00:00
10㎚(나노미터) 두께의 실리콘 나이트라이드 박막에 가로 280㎚, 세로 190㎚ 크기의 구멍 1천여 개를 체스보드 패턴으로 뚫어 만들었다. 나노구멍의 간격은 바륨 원자가 내는 빛의 파장인 791㎚로 했다. 연구팀은 체에 초속 800m의 바륨 원자 빔을 입사시키고, 수직 방향으로는 상태 제어용 레이저를 쐈다. 이때 구멍을...
UNIST팀, 반도체 2차원 절연체소재 세계 첫 합성…네이처 게재 2022-06-02 00:00:00
방식을 도입해 단결정 니켈(Ni) 기판 위에서 여러 층의 단결정 박막을 '에피택시 성장'(epitaxy growth) 시켰다. 에피택시 성장이란 결정기판 위에서 단결정을 성장시키는 방법을 말한다. 연구팀은 이 방법으로 2층, 3층, 5층 등 여러 다층 박막 형태로 단결정을 합성하는 데 성공했다. 육방정계 질화붕소의 두께를...
'고체물질 생성' 수수께끼 풀려 2022-04-08 17:21:01
물질로, 명칭은 ‘AuCN 나노리본’이다. 연구팀은 LBNL이 보유한 세계 최고 성능의 전자현미경으로 이 나노리본 연구를 거듭했다. 문제는 나노리본이 보였다 안 보였다를 반복하는 현상이었다. 연구팀은 수년간 이를 지켜본 결과 ‘결정이 존재하는데 보였다 안 보였다 하는 게 아니라, 구조가 무너진 비결정과 결정 상태를...
[위클리 스마트] 코로나 팬더믹 속 출연연 감염병 연구성과 가시화 2022-03-26 10:00:03
사용한 '3차원 광증폭 나노소재 기술'은 우리나라와 미국, 중국에 특허 등록을 마쳤고 '현장형 신속 유전자 검출 기술'은 삼성서울병원과 공동으로 특허를 출원했다. KIMS와 삼성서울병원은 코로나19 감염자에 대한 대규모 임상시험을 통해 기술의 신뢰성을 확인한 뒤 식약처에 인허가를 신청할 예정이다....
통념 깬 '구리의 재발견'…"나노회로용 비싼 金 대체" 2022-03-25 17:09:26
고승환 서울대 교수 연구팀은 산화구리 나노와이어 박막의 물성을 제어해 소자로 제작하는 기술을 새로 개발했다고 이날 밝혔다. 나노와이어는 지름이 ㎚ 단위인 극미세선으로 트랜지스터, 메모리 등에 쓰인다. 연구팀은 산화구리 나노와이어 박막에 레이저를 정밀하게 쏴 아산화동 등 다양한 구리 기반 소자를 생산했다. ...
공기 닿으면 색깔 변하는 구리, 단원자층 박막으로 산화 막는다 2022-03-17 02:00:00
침투한다. 그러나 박막이 완벽하게 평평하거나 단원자층일 경우에는 산소 침투에 매우 큰 에너지가 필요하기 때문에 상온에서 산화가 일어나지 않는 것이다. 연구진은 초평탄 박막 표면에 존재하는 산소는 산소가 존재할 수 있는 공간 50%가 차면 다른 산소가 접근하지 못하도록 밀어내 산화를 억제하는 자기조절 기능을...
임상언·장규범 '3월 엔지니어상' 2022-03-07 18:14:26
책임연구원은 미래 차의 핵심 부품으로 주목받는 차량 인포테인먼트(IVI) 플랫폼 최적화 설계를 주도해 전장 산업 경쟁력 향상에 기여한 공로를 인정받았다. 장 팀장은 0.075㎜ 직경의 절삭날을 가공해 만드는 ‘초극소경 절삭공구’용 나노코팅박막 개발 및 양산 기술을 확보해 수상자로 선정됐다. 수상자는 과기정통부...
3월 대한민국 엔지니어상에 현대모비스 임상언·네오티스 장규범 2022-03-07 12:00:07
'초극소경 절삭공구'용 나노코팅박막 개발 및 양산기술을 확보해 수상자로 선정됐다. 과기정통부에 따르면 장 팀장은 이 기술개발 성공으로 공구 수명을 200% 높이는 성과를 냈다. 대한민국 엔지니어상은 산업 현장의 기술혁신을 장려하고 기술자를 우대하는 풍토를 조성하고자 매월 대기업·중소기업 엔지니어를...
KIST "그래핀 나노구멍 막는 기술개발…가스차단막 상용화될것" 2022-03-03 12:00:20
박막을 형성하는 자기조립 현상을 이용해 그래핀 합성 과정에서 발생하는 나노 구멍을 메웠다. 연구진은 유기 박막이 가스 분자가 유입되는 이동통로인 그래핀의 나노구멍을 막아 수분 투과율을 기존 그래핀 가스 차단막의 700분의 1 수준으로 낮췄다고 설명했다. 안 박사는 "그래핀의 나노구멍을 메우는 기술은 그래핀의...