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아이큐브글로벌 "車·섬유에 적용…나노 기술 대중화 시대 연다" 2019-10-01 16:50:59
막아준다. 아이큐브글로벌은 진공관에서 플라즈마 형태로 증착하는 VNT(vacuum nano technology) 방식을 세계 처음으로 개발해 국제 특허를 냈다. 건식 진공장치인 담채라는 용기의 윗부분을 가열해 금속을 플라즈마 상태로 만들어 금속볼 등 대상체에 균일하게 붙이는 것이다. 고순도의 나노 입자를 독성 없이 저렴하게...
테스, 기판처리장치 관련 특허 등 특허권 2개 취득 2019-09-04 15:36:35
언로딩 방법'에 관한 국내 특허권을 취득했다고 4일 공시했다. 테스는 "이 특허는 반도체 기판 증착과 에칭 공정에서 기판을 지지부의 리프트 핀에 안착하고 분리할 때 기판 정렬이 틀어지는 문제를 해결하고, 기판의 손상을 방지하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다"고 설명했다. 테스는 또 '탄소와 보론을...
울산과기원, 수소생산 효율 높이는 '물 분해 촉매' 개발 2019-07-18 12:00:07
18일 밝혔다. 수소를 생산하는 친환경적 방법으로 수전해 기술이 꼽히는데, 이때 물 분해 반응을 돕는 촉매가 필요하다. 그동안은 백금(Pt)이나 이리듐(Ir) 기반 귀금속 촉매 성능이 우수하다고 보고됐지만, 가격이 비싸고 안정성이 낮아 상용화가 어려웠다. 이에 연구진은 비귀금속 기반 촉매인 이셀레나이드 몰리브덴을...
"반도체 소재 국산화? 규제에 가격경쟁력 잃은 지 오래" 2019-07-12 13:02:55
후공정으로 나뉜다. 전공정은 세정→열처리→노광→식각→증착→이온 주입→평판화 순으로 이뤄진다. 이중 '노광'과 '이온 주입'은 국산화율이 0%다.이번에 일본이 수출규제 조치를 단행한 포토레지스트(감광액)는 생산공정 중 '노광' 단계에 쓰인다. 일본은 세계 감광액...
국일제지, 자회사 8인치 웨이퍼 그래핀 개발 성공 소식에 '급등' 2019-05-29 09:12:28
단층 그래핀이 성공적으로 증착된 것을 확인했다"고 말했다. 국일그래핀이 발명한 신소재 그래핀 제조기술은 지난달 미국 특허 등록을 완료했다. 이 기술은 전사 과정을 거치지 않는 무전사 방식으로 그래핀 박막을 형성해 고품질 그래핀을 만드는 방법이다.투명 전극, 반도체 디바이스 등의 전극 소자에 적용돼 접는...
머리카락으로 습도 재는 기술 개발…진동수로 정밀 측정 2019-05-02 12:00:14
머리카락 습도계를 새로운 방법으로 재구성했다. 길이가 아닌 공진 주파수(자유 진동할 때의 고유한 진동수와 거의 유사한 진동수)를 측정하는 게 골자다. 습도가 증가하면 머리카락이 길어지면서 공진 주파수가 감소하는 경향을 이용했다. 연구팀 습도계는 머리카락을 기타 줄처럼 팽팽하게 고정한 뒤 광학적 측정용 금을...
전자책 더 선명해진다…메타물질 완전흡수체 개발 2019-04-23 09:23:12
했다. 공정은 증착이 아닌 용액 방식을 택했다. 대면적에 낮은 공정 비용으로 쉽게 제작할 수 있는 장점이 있다고 연구팀은 설명했다. 유연한 기판 제조 가능성도 높다. 연구팀은 100∼200㎚ 두께에 가로와 세로 각각 2.5㎝ 크기의 은 나노결정 기반 플렉서블 메타 물질을 만들었는데, 이는 하나의 픽셀(pixel)에 적용할 수...
방향성 없는 기판에서 그래핀 '한 방향 성장' 성공 2019-03-10 12:00:13
고안했다. 먼저 탄화규소 위에 팔라듐을 증착했다. 이후 남은 탄소가 그 위에 자연스럽게 단방향 그래핀으로 크도록 유도했다. '그래핀을 포함한 한 방향의 단결정 물질을 성장시키기 위해서는 기판도 단결정이어야 한다'는 통념을 깬 셈이다. 질적인 면에서 기존 방식보다 떨어지지 않으면서도 전이 문제도 해결할...
울산과기원, 고품질 흑연 생산법 개발…"산업재료 활용 기대" 2019-02-06 12:00:21
못했다. 루오프 교수팀은 화학기상증착법(화학 물질을 플라스마나 열을 이용해 박막으로 형성시키는 방법)으로 성장시킨 단결정 그래핀을 흑연 재료가 될 탄소 기반 물질 내부에 위치시켰다. 이후 높은 온도로 열처리하자 다른 물질은 사라지고, 탄소만 남아 흑연으로 변했다. 이때 단결정 그래핀에 가까운 영역에서부터 고...
[집코노미] 3만~70만원까지 천차만별…어떤 바닥재 선택할까 2019-01-27 07:01:52
pvd(physical vapour deposition·물리진공증착) 바닥재와 나무, 카펫 등의 재료가 결합된 바닥재다. 상업용으로 많이 쓰이던 마감재지만 장판보다 디테일한 디자인과 저렴한 가격, 강한 내수·내마모성, 접착식의 손쉬운 시공법 등의 장점이 있다. 보행감, 재질감이 다른 목재 바닥에 비해 떨어진다는 단점이...