월덱스, 반도체용 실리콘 전극·링 국산화 2020-11-11 17:18:44

공정이 있다. 월덱스는 식각 공정에서 사용되는 장비의 소모성 부품인 ‘실리콘 전극’과 ‘링’을 국내에서 처음 국산화한 업체다. 식각 공정 설비 내 설치되는 전극은 미세구멍 사이로 복합 부식가스를 보내 웨이퍼 표면에 플라즈마(이온화된 가스 형태)가 균일하게 분포되는 역할을 한다. 웨이퍼 주변에 설치되는 링은...

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일본서 기술독립 "착착"…국산 불화수소 품질평가 '박차' 2020-09-23 10:41:32

반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다고 밝혔다. 23일 표준연에 따르면 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 구축하고 약 20가지 서비스 중 가장 먼저 불화수소에 대한 품질 평가를 진행한다. 표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응해 지난해 8월부터 공사에 돌입해 반도체용...

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`반도체용 불화수소` 국산화 속도…일본 `독점` 깬다 2020-09-22 14:50:59

등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공하고 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다고 22일 밝혔다. 표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진했다. 분석 장비비 8억, 시설 구축비 7억 등 긴급 자체 예산 15억을 사용해 실험실을 완공했다. 이번 실험실...

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• #반도체용 불화수소 #불화수소 #반도체 #표준연 #가스 #소재 #대한 #품질평가

"일본 수출규제 대응" 국산 불화수소 순도 분석 서비스 시작 2020-09-22 12:00:10

22일 밝혔다. 표준연은 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 구축하고, 약 20가지 서비스 중 가장 먼저 불화수소에 대한 품질 평가를 진행한다. 표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응해 지난해 8월부터 15억원을 들여 반도체용 고순도 가스의 신뢰성 검증 실험실을 완공했다. 불화수소는 반도체...

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[강소기업]전기차 배터리 장비업체 클레버, 신기술 도입해 셀 불량률 10분의 1로 줄여 2020-08-24 14:04:26

있다. 지난 5월부터는 영역을 확장해 반도체 식각장비를 만들기 시작했다. 웨이퍼 300㎜가 대세인 상황에서 틈새시장인 200㎜용 식각장비에 집중할 계획이다. 최근엔 반도체나 제약사 공장 건설에 필요한 공조, 가스, 화학, 물 등과 관련된 설비를 종합적으로 공급하는 자회사를 설립하며 유틸리티 분야까지 사업을 확장했...

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일본이 한국반도체 겨냥해 수출 막은 감광재 국내 생산 눈앞 2020-07-09 15:28:41

소재 가운데 핵심이다. 반도체 식각 소재인 고순도 불화수소(에칭가스)와 플루오린 폴리이미디는 국산화에 성공해 일본 제품을 대체하고 있지만 포토 레지스트는 기술장벽때문에 국산화에 애를 먹었다. 극자외선 공정에 들어가는 포토레지스트는 그동안 전략 수입에 의존해왔다.일본의 반도체 소재 수출 규제 타개를 위해...

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